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Osaka涡轮分子泵
任意方位安装复合分子泵TG-F系列
使用了脂润滑陶瓷轴承，实现了小型、轻量、低成本。耐外部震动，耐冲击能力强，可以把分子泵搭载到可搬式设备或设备的可动部，拓展了涡轮分子泵的新应用。提供排气速度50L/s～2400L/s的产品。
产品特点
无油的超高真空环境
机械式的气体分子排气(动态排气),对所有的气体的排气速度大致相同
可排稀有气体和腐蚀性气体
可连续排大流量气体
可工作的压力范围宽。（～10-10Pa）
应用场合
半导体制造
电子枪排气，离子源排气
FPD制造
表面处理，表面改质
各种电子部件的制造
分析，试验装置
管球制造，光学部件制造
加速器，放射线设施，核聚变研究
热处理
研究开发
更多访问;
http://www.shycsm.net/Products-37038860.html
https://www.chem17.com/st519780/erlist_2368397.html
