上海添时CVD气相沉积

1700℃二通道混气真空CVD系统介绍：

型号：GSL-1700X-HVC

壳体：

•内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命

•保温材料采用高纯氧化铝纤维，环保节能，减少热量的损失

•真空泵和气体混合系统位于移动架上，方便移动.

•仪器上已经安装高真空法兰，阀门，高真空机组

炉管:

•材质：高纯氧化铝陶瓷管

•一根高纯氧化铝陶瓷管已经安装在炉子上

•(标配尺寸)(60mm)0.D.xI.D.(50mm)x1000mm

(选配尺寸)”(80mm)0.D.xI.D.(70mm)x1000mm

控制面板：

•一键操作：按下"start”键后，隔膜泵和涡轮分子泵将会启动(隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后，分子泵自动启动)

系统控制旋转速率：根据腔体内的真空度，系统自动控制旋片泵的旋转速率

CVD气相沉积

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