上海添时PECVD等离子体增强气相沉积

OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE是一款1200℃PECVD等离子体增强气相沉积由射频电源、双温区管式炉、4通道质子流量计控制系统、性能优异的真空泵及水冷机组成。此套完整的设备系统特别适合用于无机复合粉末的热处理以及粉未表面的改性处理工艺中（如：粉体掺杂（空穴、间隙原子）、表面改性、表面包覆及制备锂离子电池阴极粉末的导电涂层等）。

1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统产品特点：

1、射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度；

2、齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性;

3、4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行网络销售培训的调控;

4、炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管。

1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统参数：

工作电源：

•输入电压：AC208-220V，50/60Hz

•总功率：<4KW

加热炉参数：

•高温：1100℃(<30min)；连续工作温度：1000℃;

•两个PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃;

•工作电压：110V；

•额定功率：1.5KW；

•回转炉旋转速度：0-5rpm。

PECVD等离子体增强气相沉积

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