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测试模块布局
测试模块应当放置在用聚焦层定位模块所确定的聚焦层位置处，其测试器件部分(如放大率一致性模块的中心平面、低对比度分辨率测试模块的带孔表面)应当与定位模块投影中心对齐，方向应与定位模块一致，B.1聚焦层定位模块
由5个倾斜放置的钢珠如图B1所示镶嵌在长方体PMMA模块中，内部钢珠直径为5mm;内部钢珠水平方向偏移量分别为-10mm、-5mm、0mm、5mm10mm，钢珠球心的垂直方向间距为10 mm。单位为毫米
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公司基本资料信息
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测试模块布局
测试模块应当放置在用聚焦层定位模块所确定的聚焦层位置处，其测试器件部分(如放大率一致性模块的中心平面、低对比度分辨率测试模块的带孔表面)应当与定位模块投影中心对齐，方向应与定位模块一致，B.1聚焦层定位模块
由5个倾斜放置的钢珠如图B1所示镶嵌在长方体PMMA模块中，内部钢珠直径为5mm;内部钢珠水平方向偏移量分别为-10mm、-5mm、0mm、5mm10mm，钢珠球心的垂直方向间距为10 mm。单位为毫米
