偏置电场下热释电测试

　　热释电系数测试主要性能指标：

　　a. 测量范围：0.1 pA ～ 1 μA

　　b.测量精度：10 fA

　　c. 样品类型：单晶、块体、膜

　　d. 网址导航站大样品厚度：10 mm

　　e. 网址导航站大样品尺寸：Φ30 mm

　　f. 样品形状：不限

　　g. 直流偏场：0～5000 V可调

　　h. 高压击穿保护：有

　　i. 温度范围：-160℃ ～ 260 ℃

　　j. 控温精度：±0.1 ℃

　　k. 升降温速率：1～10 ℃/min

　　l. 具有控温故障诊断监控、超温自动断电保护功能

　　本测试系统由主控器、高压电源、高低温测试箱（配热释电测试夹具）、计算机及系统软件部分组成。主控器实现高压信号发生器、收集热释电电流、与PC通讯等功能，系统软件包括可视化数据采集和管理功能，测试时，按要求安装样片后，一键启动热释电系数测量，测量过程曲线和测试结果自动保存。

　　偏置电场下热释电测试

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