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主要技术指标：
1、输出流量：0-2000、0-5000、0-10000sccm等规格可选
2、质量流量控制器准确度：±1％RD（高配 0.6%RD）
3、质量流量控制器重复精度：±0.2％
4、响应时间：≤1sec
5、耐压：1MPa，3MPa
6、漏气率：1×10-9SCCSHe
7、通道材料：316L不锈钢或聚四氟乙烯
8、进出气口连接方式：Φ6不锈钢穿板卡套或快插接头
9、密封材料：氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯）
10、预热时间：＜10min（高配无需预热）
11、外形尺寸：深430mm×宽240mm×高340mm
12、配气稀释比：可选 1000:1、500:1、200:1、100:1、50:1等规格可选
13、仪器重量：8Kg
14、工作温度为 5℃～45℃
15、工作压差：0.1～0.3MPa相对湿度为不大于85%
16、充电源为交流：220 V±22 V、频率：50 Hz ±1Hz
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